日, 불화수소 수출조건 내세워 삼성전자 첨단공정 자료요구

제조 공정도·배치도 등 기밀자료 언급..전문가·업계 "받아들일 수 없어"

[아이뉴스24 조석근 기자] 일본 정부가 불화수소 수출 조건을 내세워 삼성전자와 SK하이닉스를 상대로 반도체 생산 공정상 민감한 자료를 요구한 것으로 드러났다.

앞서 일본 정부는 지난달 4일 반도체 소재 등 3종(EUV 포토레지스트, 고순도 불화수소, 불화 폴리이미드)의 대(對)한국 수출 규제를 개시한 바 있다. 이후 일본 정부는 3종 중 유독 고순도 불화수소에 대해서는 수출 규제를 풀지 않고 있는 상황이다.

이는 일본 정부가 삼성전자와 SK하이닉스의 첨단공정 자료를 요구하기 위한 의도가 깔렸다는 분석이다.

26일 반도체업계와 관련 전문가들에 따르면, 일본 정부는 삼성전자와 SK하이닉스를 상대로 순도 99.999% 이상 불화수소를 사용하는 반도체 공정의 상세기술 도표는 물론 배관, 설비 배치도 등 첨단 공정을 요구한 것으로 확인됐다. 국내 반도체 업체들 핵심적인 보안사항인데 이것을 자국 불화수소 생산업체들에게 요구한 것이어서 상당한 논란이 예상된다.